Icon--AD-black-48x48Icon--address-consumer-data-black-48x48Icon--appointment-black-48x48Icon--back-left-black-48x48Icon--calendar-black-48x48Icon--Checkbox-checkIcon--clock-black-48x48Icon--close-black-48x48Icon--compare-black-48x48Icon--confirmation-black-48x48Icon--dealer-details-black-48x48Icon--delete-black-48x48Icon--delivery-black-48x48Icon--down-black-48x48Icon--download-black-48x48Ic-OverlayAlertIcon--externallink-black-48x48Icon-Filledforward-right_adjustedIcon--grid-view-black-48x48Icon--info-i-black-48x48Icon--Less-minimize-black-48x48Icon-FilledIcon--List-Check-blackIcon--List-Cross-blackIcon--list-view-mobile-black-48x48Icon--list-view-black-48x48Icon--More-Maximize-black-48x48Icon--my-product-black-48x48Icon--newsletter-black-48x48Icon--payment-black-48x48Icon--print-black-48x48Icon--promotion-black-48x48Icon--registration-black-48x48Icon--Reset-black-48x48share-circle1Icon--share-black-48x48Icon--shopping-cart-black-48x48Icon--start-play-black-48x48Icon--store-locator-black-48x48Ic-OverlayAlertIcon--summary-black-48x48tumblrIcon-FilledvineIc-OverlayAlertwhishlist

客户定制的MEMS器件

博世罗伊特林根晶圆厂,MEMS代工服务

博世MEMS工艺开发和制造服务部门将加快MEMS客户定制的开发速度,因为MEMS供应商中存在最广泛的技术产品组合。我们为客户提供灵活的研发意愿和能力,基于数十年的经验在MEMS中拥有丰富的专业知识,并最终在质量、可靠性、大产量、快速量产和长期交付方面提供高度专业的生产能力。

最多的技术组合选择

我们可能是全球MEMS供应商中可以提供最广泛的产品组合的一家。

技术组合

除了标准的ASIC技术,博世还提供特定的MEMS工艺:

  • 适用于130nm以下MEMS的KrF光刻

  • 所有标准ASIC流程

  • 表面和批量微加工

  • DRIE(“博世工艺”)

  • 用HF对氧化硅和XeF2对Si进行气相蚀刻

  • KOH蚀刻

  • 硅或金属中的TSV

  • 防粘和ALD涂层

  • PZT,AIN

  • 气密或真空密封,重新密封

  • SiRiN

  • 多孔硅

  • 背面对齐和处理

  • 研磨和抛光(特别是粘合晶片对)

生产能力

前端

  • 3个晶圆厂(150mm和200mm)
  • 每天有超过3,000个晶圆
  • 所有晶圆厂都符合汽车和消费者要求:
    • IATF 16946
    • ISO 14001
    • and others

后端

  • 150mm and 200mm晶圆水平测试
  • 传感器集成
  • 封装产品的最终测试