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博世半导体

MEMS传感器

博世全面覆盖汽车领域MEMS传感器的各个环节,从研发设计到量产制造,均具备深厚实力。迄今为止,博世已累计生产超过230亿颗MEMS传感器,凭借卓越的技术积累,成为全球领先的汽车MEMS传感器供应商之一。欢迎深入了解我们面向汽车应用的创新技术与产品,探索博世如何通过先进的传感器解决方案,为更美好的生活保驾护航。

MEMS传感器主要应用

安全系统

博世的MEMS传感器在多种汽车安全系统中发挥着关键作用。它们可用于检测车辆减速度,确保安全气囊在必要时准确展开;在车辆动态控制系统中测量转向角速度和横向加速度;在胎压监测系统(TPMS)中监测轮胎压力,及时向驾驶员发出潜在危险预警。

高级驾驶辅助系统(ADAS)

在高级驾驶辅助系统中,精确的传感器数据是实现高度自动驾驶的基础。MEMS传感器可支持车道保持、车辆运动状态确认等关键功能。同时,性能要求较低的MEMS传感器也越来越多地被应用于导航与车载远程通信(车联网)等功能中。

舒适系统

博世MEMS传感器可将底盘动态数据传输至主动悬挂系统,实现更高水平的驾驶舒适性与安全性。此外,气动座椅中的低压传感器可实时监测气室压力,自动调节以贴合驾驶者的体型,显著缓解长途驾驶中的疲劳感。

内燃机动力系统(ICE)

在传统内燃机(ICE)动力系统中,MEMS气压传感器对于发动机控制单元至关重要。它们可感知因海拔、天气及温度变化带来的环境压力波动,进而优化发动机性能与燃油效率,并准确计算空气与燃油的混合比例。

路噪主动降噪(RNC)

在道路噪声主动消除系统中,博世的MEMS加速度传感器能够实时感应靠近车轮位置的振动数据。基于这些数据,音响系统可发出相应的反向声波,有效抵消车内噪音,提升驾乘舒适性。

振动监测

博世MEMS传感器具有高达10 kHz的带宽,可精准探测设备运行中的振动信息。在状态监测系统中,这些数据可用于提前发现异常频率,实现预测性维护、性能优化,并及时识别潜在故障,避免系统停机。

博世MEMS传感器产品组合

传感器类型
主要应用
封装形式
安全系统
加速度传感器

SMA750

  • 感应轴向: Y轴
  • 测量范围: ±120/240/480 g
  • 输出接口: PSI5,10位或14位
  • 封装形式: SOIC8n
安全系统
加速度传感器

SMA751

  • 感应轴向: Z轴
  • 测量范围: ±120/240/480 g
  • 输出接口: PSI5, 10位或14位
  • 封装形式: SOIC8n
安全系统
加速度传感器

SMA755

  • 感应轴向: X轴
  • 测量范围: ±240/480 g
  • 输出接口: PSI5, 10位或14位
  • 封装形式: SOIC8n
安全系统
加速度传感器

SMA758

  • 感应轴向: X轴
  • 测量范围: ±120/240/480 g
  • 输出接口: PSI5, 10位或14位
  • 封装形式: SOIC8n
安全系统
加速度传感器

SMA780

  • 感应轴向: X轴
  • 测量范围: ±120/240/480 g
  • 输出接口: PSI5, 10位或14位
  • 封装形式: LGA SiP
安全系统
加速度传感器

SMA781

  • 感应轴向: Z轴
  • 测量范围: ±120/240/480 g
  • 输出接口: PSI5, 10位或14位
  • 封装形式: LGA SiP
安全系统
加速度传感器

SMA790

  • 感应轴向: X轴
  • 测量范围: ±120/240/480 g
  • 输出接口: PSI5, 10位或14位
  • 封装形式: LGA SiP
安全系统
加速度传感器

SMA720

  • 感应轴向: X轴, Z轴
  • 测量范围: 128 g (ax) / 32 g (az)
  • 输出接口: SafeSPI, 14位
  • 封装形式: SOIC8n
安全系统
加速度传感器

SMA760

  • 感应轴向: X轴, Z轴
  • 测量范围: ±128 g (X,Y)
  • 输出接口: SafeSPI, 14位
  • 封装形式: SOIC8n
安全系统
加速度传感器

SMA752

  • 感应轴向: X轴, Y轴
  • 测量范围: ±120/240/480 g
  • 输出接口: PSI5, 10位或14位
  • 封装形式: SOIC8n
安全系统
加速度传感器

SMA753

  • 感应轴向: X轴, Z轴
  • 测量范围: ±120/240/480
  • 输出接口: PSI5, 10位或14位
  • 封装形式: SOIC8n
安全系统
加速度传感器

SMA757

  • 感应轴向: X轴, Y轴
  • 测量范围: ±240/480
  • 输出接口: PSI5, 10位或14位
  • 封装形式: SOIC8n
安全系统
加速度传感器

SMA765

  • 感应轴向: X轴, Y轴
  • 测量范围: ±240
  • 输出接口: SafeSPI
  • 封装形式: SOIC8n
安全系统
加速度传感器

SMA773

  • 感应轴向: X轴, Y轴
  • 测量范围: ±30/60
  • 输出接口: PSI5, 10位或14位
  • 封装形式: SOIC8n
安全系统
加速度传感器

SMA774

  • 感应轴向: X轴, Z轴
  • 测量范围: ±30/60
  • 输出接口: PSI5, 10位或14位
  • 封装形式: SOIC8n
安全系统
加速度传感器

SMA777

  • 感应轴向: X轴, Y轴
  • 测量范围: ±30/60
  • 输出接口: PSI5, 10位或14位
  • 封装形式: LGA SiP
安全系统
加速度传感器

SMA778

  • 感应轴向: X轴, Z轴
  • 测量范围: ±30/60
  • 输出接口: PSI5, 10位或14位
  • 封装形式: LGA SiP
安全系统
加速度传感器

SMA782

  • 感应轴向: X轴, Y轴
  • 测量范围: ±120/240/480
  • 输出接口: PSI5, 10位或14位
  • 封装形式: LGA SiP
安全系统
加速度传感器

SMA783

  • 感应轴向: X轴, Z轴
  • 测量范围: ±120/240/480
  • 输出接口: PSI5, 10位或14位
  • 封装形式: LGA SiP
安全系统
加速度传感器

SMA792

  • 感应轴向: X轴, Y轴
  • 测量范围: ±240/480
  • 输出接口: PSI5, 10位或14位
  • 封装形式: LGA SiP
安全系统
角速度传感器

SMG810

  • 感应轴向: X轴
  • 测量范围: ±300 °/s
  • 输出接口: SafeSPI
  • 封装形式: BGA64
安全系统
惯性传感器

SMI720

  • 感应轴向: Ωx, az
  • 测量范围: 300 °/s, 5 g
  • 输出接口: SPI
  • 封装形式: BGA64
安全系统
压力传感器

SMP470

  • 测量范围: 45.5 – 110 kPa (扩展: 140 kPa)
  • 输出接口: PSI5 (V1.3 / V2.1), 10位或16位
  • 封装形式: LGA8 (仅支持免焊接)
安全系统
压力传感器

SMP475

  • 测量范围: 45.5 – 110 kPa (扩展: 140 kPa)
  • 输出接口: PSI5 (V1.3 / V2.1), 10位或16位
  • 封装形式: SOIC8
安全系统
压力传感器

SMP290

  • 测量范围:
    • PC: 90 kPa - 920 kPa
    • CV: 90 kPa - 1,500 kPa
    • ax: -330 g - 330 g
    • az: -960 g - 960 g
  • 输出接口: BLE V5.3
  • 封装形式: DFN (4.5 x 3.5 mm²)
安全系统
惯性传感器

SMI860

  • 测量范围: ±300 °/s (Ωxz), ±6 g (axyz)
  • 输出接口: SafeSPI
  • 封装形式: BGA64
安全系统
惯性传感器

SMI800

  • 测量范围: ±300 °/s (Ωz), ±6 g (axy)
  • 输出接口: SafeSPI
  • 封装形式: BGA64
安全系统
惯性传感器

SMI810

  • 测量范围: ±300 °/s (Ωx), ±6 g (ayz)
  • 输出接口: SafeSPI
  • 封装形式: BGA64
安全系统
惯性传感器

SMI700

  • 测量范围: ±300 °/s (Ωz), ±5 g (axy)
  • 输出接口: SPI, PSI5, CAN
  • 封装形式: BGA64
安全系统
惯性传感器

SMI710

  • 测量范围: ±5 g (axy)0 °/s (Ωx), ±5 g (ayz)
  • 输出接口: SPI, PSI5, CAN
  • 封装形式: BGA64
ADAS
惯性传感器

SMU200

  • 感应轴向: Z轴 (Ω), X轴, Y轴 (a)
  • 测量范围: ±300 °/s (Ωz), ±6 g (axy)
  • 输出接口: SafeSPI 16位
  • 封装形式: CLCC16
ADAS
惯性传感器

SMU210

  • 感应轴向: X轴, Z轴 (Ω), X轴, Y轴, Z轴 (a)
  • 测量范围: ±300 °/s (Ωz), ±6 g (axy)
  • 输出接口: SafeSPI 16位
  • 封装形式: BGA64
ADAS
惯性传感器

SMI240

  • 感应轴向: X轴, Y轴, Z轴 (Ω), X轴, Y轴, Z轴 (a)
  • 测量范围: ±300 °/s (Ω) ±16 g (a)
  • 输出接口: SPI (帧外)
  • 封装形式: LGA, 3.3 x 3.3 mm²
ADAS
惯性传感器

SMI270

  • 感应轴向: X轴, Z轴 (Ω), X轴, Y轴, Z轴 (a)
  • 测量范围: ±300 或 ±500 °/s (Ω) ±4 g 或 ±16 g (a)
  • 输出接口: SPI (帧外) 16位 (SPI)
  • 封装形式: 开腔 LGA, 5 x 5 mm²
ADAS
加速度传感器

SMA131

  • 感应轴向: X轴, Y轴, Z轴
  • 测量范围: ±2 g ±4 g ±8 g
  • 输出接口: SPI, I²C 14位
  • 封装形式: LGA12
ADAS
角速度传感器

SMG130

  • 感应轴向: X轴, Y轴, Z轴
  • 测量范围: ±125 °/s ±250 °/s ±500 °/s ±1,000 °/s ±2,000 °/s
  • 输出接口: SPI, I²C 16位
  • 封装形式: LGA16
ADAS
惯性传感器

SMI130

  • 感应轴向: X轴, Y轴, Z轴 (Ω) X轴, Y轴, Z轴 (a)
  • 测量范围: ±2 g (a) ±4 g (a) ±8 g (a) ±16 g (a)
  • 输出接口: SPI, I²C 16位 (Ω) 12位 (a)
  • 封装形式: LGA16
ADAS
加速度传感器

SMA270

  • 感应轴向: X轴, Y轴, Z轴
  • 测量范围: ±4 g ±16 g
  • 输出接口: SPI 16位 (SPI)
  • 封装形式: 开腔 LGA 5 x 5 mm²
ADAS
加速度传感器

SMA130

  • 感应轴向: X轴, Y轴, Z轴
  • 测量范围: ±2 g ±4 g ±8 g ±16 g
  • 输出接口: SPI, I²C 14位
  • 封装形式: LGA12
舒适系统
加速度传感器

SMA731

  • 感应轴向: X轴
  • 测量范围: ±16 g
  • 输出接口: PSI5 14位
  • 封装形式: SOIC8n
舒适系统
加速度传感器

SMA732

  • 感应轴向: Y轴
  • 测量范围: ±16 g
  • 输出接口: PSI5 14位
  • 封装形式: SOIC8n
路噪主动降噪
加速度传感器

SMA380

  • 测量范围: ±10/20 g (ax, ay, az)
  • 输出接口: TDM, I²C 16位
  • 封装形式: LGA 2.3x2.8 mm²
路噪主动降噪
惯性传感器

SMA735

  • 测量范围: ±16 g (ax, ay)
  • 输出接口: PSI5
  • 封装形式: SOIC8n 4.9x6 mm²
振动监测
加速度传感器

SMA285

  • 测量范围: ±16/32 g (ax, ay, az)
  • 输出接口: SPI 16位
  • 封装形式: BGA 3x3 mm²
振动监测
加速度传感器

SMA286

  • 测量范围: ±16/32 g (ax, ay, az)
  • 输出接口: TDM, I²C 16位
  • 封装形式: LGA 2.3x2.8 mm²
内燃机动力系统
压力传感器

SMP581

  • 测量范围: 40 - 115 kPa
  • 输出接口: SPI 10位或12位
  • 封装形式: DFN8
ADAS
Inertial sensor

SMI230

  • Sensing axes: X, Y, Z (Ω) X, Y, Z (a)
  • Range: ±125 °/s (Ω) ±250 °/s (Ω) ±500 °/s (Ω) ±1,000 °/s (Ω) ±2,000 °/s (Ω)
  • Output: SPI, I²C
  • Package: LGA16
ADAS
Inertial sensor

SMU300

  • Sensing axes: X, Y, Z (Ω) X, Y, Z (a)
  • Range: ±100/300 °/s (Ω), ±6/8 g (ax, ay, az)
  • Output: SafeSPI 20 bits
  • Package: CLCC (8 x 8 mm²)
ADAS
Inertial sensor

SMI980

  • Sensing axes: X, Y, Z (Ω) X, Y, Z (a)
  • Range: ±300 °/s (Ω), ±6/8 g (ax, ay, az)
  • Output: SafeSPI 20 bits
  • Package: Open-cavity LGA 8 x 8 mm²
ADAS
Inertial sensor

SMI330

  • Sensing axes: X, Y, Z (Ω) X, Y, Z (a)
  • Range: ±125 °/s (Ω) ±250 °/s (Ω) ±500 °/s ±2/46/8 g (ax, ay, az)
  • Output: SPI, I2C
  • Package: LGA (3 x 2.5 mm²)
Safety systems
Inertial sensor

SMI970

  • Sensing axes: X, Y, Z (Ω) X, Y, Z (a)
  • Range: ±100/300 °/s (Ω), ±6/8 g (ax, ay, az)
  • Output: SafeSPI
  • Package: LGA (3 x 2.5 mm²)
Safety systems
Acceleration sensor

SMA884

  • Sensing axes: X
  • Range: ±120/240/480 g
  • Output: PSI5, 10 bit or 14 bit
  • Package: DFN (3 x 3 mm²)
Safety systems
Acceleration sensor

SMA885

  • Sensing axes: X, Y
  • Range: ±120/240/480 g
  • Output: PSI5, 10 bit or 14 bit
  • Package: DFN (3 x 3 mm²)
Safety systems
Acceleration sensor

SMA886

  • Sensing axes: X, Z
  • Range: ±120/240/480 g
  • Output: PSI5, 10 bit or 14 bit
  • Package: DFN (3 x 3 mm²)
Safety systems
Acceleration sensor

SMA887

  • Sensing axes: Z
  • Range: ±120/240/480 g
  • Output: PSI5, 10 bit or 14 bit
  • Package: DFN (3 x 3 mm²)
Safety systems
Acceleration sensor

SMA888

  • Sensing axes: Y
  • Range: ±120/240/480 g
  • Output: PSI5, 10 bit or 14 bit
  • Package: DFN (3 x 3 mm²)
Safety systems
Acceleration sensor

SMA889

  • Sensing axes: X, Y, Z
  • Range: ±120/240/480 g
  • Output: PSI5, 10 bit or 14 bit
  • Package: DFN (3 x 3 mm²)
Safety systems
Acceleration sensor

SMA860

  • Sensing axes: X, Y
  • Range: ±128 g (X,Y)
  • Output: SafeSPI, 14 bit
  • Package: DFN (3 x 3 mm²)
Safety systems
Acceleration sensor

SMA861

  • Sensing axes: X, Y
  • Range: ±64 g (X,Y)
  • Output: SafeSPI, 14 bit
  • Package: DFN (3 x 3 mm²)
Safety systems
Acceleration sensor

SMA863

  • Sensing axes: X, Y, Z
  • Range: ±128 g (X,Y) / ±32 g (Z)
  • Output: SafeSPI, 14 bit
  • Package: DFN (3 x 3 mm²)
Safety systems
Acceleration sensor

SMA864

  • Sensing axes: X, Y, Z
  • Range: ±64 g (X,Y) / ±32 g (Z)
  • Output: SafeSPI, 14 bit
  • Package: DFN (3 x 3 mm²)
Safety systems
Acceleration sensor

SMA865

  • Sensing axes: X, Y, Z
  • Range: ±256 g (X,Y,Z)
  • Output: SafeSPI, 14 bit
  • Package: DFN (3 x 3 mm²)
Safety systems
Acceleration sensor

SMA880

  • Sensing axes: X
  • Range: ±120/240/480 g
  • Output: PSI5, 10 bit or 14 bit
  • Package: LGA SiP (3 x 5 mm²)
Safety systems
Acceleration sensor

SMA881

  • Sensing axes: Z
  • Range: ±120/240/480 g
  • Output: PSI5, 10 bit or 14 bit
  • Package: LGA SiP (3 x 5 mm²)
Safety systems
Acceleration sensor

SMA882

  • Sensing axes: Y
  • Range: ±120/240/480 g
  • Output: PSI5, 10 bit or 14 bit
  • Package: LGA SiP (3 x 5 mm²)

面向汽车应用的MEMS传感器——博世技术赋能更安全、更智能的出行

汽车MEMS传感器(微机电系统传感器)是众多汽车功能的核心组件,广泛应用于安全气囊、车辆动态控制系统、驾驶辅助系统、自适应底盘控制、导航系统以及座椅舒适性调节等多个领域。它们不仅为高度自动驾驶提供支撑,也可用于运动检测和手势识别等前沿技术,是实现智能出行的重要基础。

博世汽车MEMS传感器如何提升系统性能与效率?

汽车MEMS传感器需长期运行于潮湿、振动、化学腐蚀、粉尘和剧烈温差等严苛环境中。博世专为汽车应用设计的MEMS传感器,具备出色的精度、安全性与可靠性,能够在各种复杂条件下稳定工作。其MEMS结构与ASIC(专用集成电路)的高度集成设计,不仅支持自检功能,还可实现先进的安全架构,特别适用于对性能要求极高的汽车系统。

截至目前,博世已累计生产超过230亿颗MEMS传感器,是全球汽车传感器技术的领导者之一,并在推动MEMS传感器在全球汽车行业的广泛应用中发挥了关键作用。博世发明的“深反应离子刻蚀工艺”(DRIE,俗称“博世工艺”)首次实现了在硅片中制造垂直结构的能力,为MEMS技术的发展奠定了基础。自1995年博世率先启动该项技术以来,MEMS传感器在汽车中的应用迅速普及——如今,每辆新车中平均配备约20颗MEMS传感器,其中三分之一来自博世。

博世汽车MEMS传感器在车辆中承担哪些核心功能?

博世的汽车MEMS传感器种类丰富,具备多种感知能力,可根据不同应用需求检测运动、压力、湿度、气流、噪音、气体或磁场。这些微型系统不仅测量精度高、灵敏度强,还能轻松集成于微小空间中,其低功耗特性使其成为众多节能型汽车功能模块的理想选择。

博世汽车MEMS传感器如何提升行车安全?

在汽车安全至关重要的应用中,如安全气囊、车辆动态控制、驾驶辅助系统及自动驾驶功能,MEMS传感器不可或缺。博世提供的MEMS传感器符合最高级别的汽车电子功能安全等级——ASIL D,保障关键系统的可靠运行,全面守护出行安全。